17AV网

????

_
_
_
_
_

??

_

???? ??? ??? ?? ?? ??? ???? ??? ????. ??? ????? ?? ??? ?? ??? ?????. ?, ?? ?? ??? ?? ??? ? ?? ?? ???? ??? ???? ??? ?? ?? ??? ?? ??? ?????? ??? ??? ?? ??(??? ??, ???, ??? ??, ??? ?)? ???? ? ?????.

17AV网 ? ?? ?? ?? (PVD), ???? ?? ?? ?? ?? (PECVD) ??? ?? ?? ?? (MVD) ? ?????.

?? ????

SPTS Osprey? PECVD

Advanced Packaging ?? ???? ?? ?? ?? ??

Advanced Packaging??? ?? SPTS Osprey? PECVD ???? 300mm ?? ?? ? ??? ???? ?? ?? ??? ?????. Osprey PECVD? 125°C SiN – SiO ??? ??? PECVD ??? ??? ? ???, ?? ??? ?? ?? ???? ?? ??? ???? ?? ??? ??? ?????. ?? ? ?? ??? ???? ???? ??? ? ??? ???? ?? ????? ???? PECVD ???? ?? ??? ? ?? ??? ?? ?? ??? ? ????. ??? ?? ?? ??? ? ?? ??? ??? ??? ???? ?? ??? ????? ???? ?? ? ?? ??? ???? ? ????. ???? SiO, TEOS SiO, SiCN ? ?? advanced dielectric films? hybrid bonding and inter-die gap-fill ?? ??? ??? ? ????.

SPTS Sigma? PVD

??? ?? ?? ???

??? ?? ??(PVD)? ??? ??? ???, ??? ?? ??? ??? ??? ???? ?? ?????. PVD?? ????, ??, ??? ?? ? ?? ??? ????. 17AV网? ???? ??? ???? ??? ???? ???. ???? ????? "??"? ?? ???? ??????? ??? ??? ??? ?? ???? ?????. ? ???? ??? ????? ????? ?? ??? ?? ??? ?? ??? ??? ?? ?? ?? ?? ????. ?? ?? ??? ??? ??? ?????. SPTS Sigma? PVD ???? ???? ??? ??? 100mm ~ 300mm??, fxP ???? ?????? ??? ?? ?? ??? ?? ?? ??? ?? ?? ? ?? ??? ??? ? ????.

SPTS Delta? PECVD

???? ?? ?? ?? ?? ???

???? ?? ?? ?? ??(PECVD)? ???? ?? ???? ???? ??? ???? ?? ??? ???? 400°C ??? ???? ??? ???? ?????. ?? ? ???? ?? ??? ???? ??? ??? ? ??? ??? ??? ? ????. SPTS Delta? PECVD ???? ?? ?? ?? ??? ??? ??????? ???? RF, ??, ???? ? MEMS ??? ???? ??????? ?????. Delta? fxP ???? ???? 80°C~400°C? ?? ??? ??? ???? ??? ??? ?? ???? ???? ?????? ?????. ?? ? ???? ??? ??? ?? ??? ?? ?? ? ?? ??? ?? ?? ??? ??? ?? ??? ?? ???? ?? ?? ??? ?????.

MVD100E

R&D? ?? ?? ??(MVD?) ???

MVD100E ?? ?? ?? ???? R&D ?? ?? ??? ?? 17AV网? ??? ?????. MVD ??? ??? ?? ?? ??? ?? ? ?? ??? ?? ????? ??? ?? ? ?? ??? ??? ? ?? ????. MVD?? ??? ?? ???, ?? ?? ?? ???? ??? ?? ???? ?? ? ?? ???? ????. MVD100E ???? ??? ??? ??? ? ???? ???? ???? ?? ???? ?? ???? ??? ? ????. ??? ?? ?????? MVD100E ???? ?? ???? ??? ? ?? ???? ??? ??????.

MVD300/300E

?? ??? ?? ?? ?? ??(MVD?) ???

MVD300? ?? ?? ?? ???(? ?? ???? ?? EFEM? ??? MVD300E ???)? ?? ???? ?? ?? ?? ??? ?? ??? ??? ??? ? ???? ????? ???????. MVD ??? ??? ?? ?? ??? ?? ? ?? ??? ?? ????? ??? ?? ? ?? ??? ??? ? ?? ????. MVD? MEMS ??? ?? ?? ? ?? ?? ??? ???? ? ?? ? ?? ?? ??? ??? ? ????.

MVD4500

?? ? ?? ??? ?? ?? ?? ??(MVD?) ???

MVD4500 ?? ?? ?? ???? MVD ??? ?? 17AV网? ?? ? ?? ?? ????. MVD ??? ??? ?? ???, ?? ?? ?? ???? ??? ?? ???? ??? ?? ? ?? ??? ??? ? ?? ????. MVD4500 ???? ?? 930 x 720mm ??? ?? ??? ??? ? ???, ??? ?? ??? ???? ALD ? MVD? ??? ? ?? ??? ?? ?? ????. ? ???? ??? ??? ??? ? ???? ???? ???? ?? ???? ?? ?? ?? ???? ??? ? ????.

Are you sure?

You've selected to view this site translated by Google Translate.
17AV网 China has the same content with improved translations.

Would you like to visit 17AV网 China instead?

您已选择查看由骋辞辞驳濒别翻译翻译的此网站。
碍尝础中国的内容与英文网站相同并改进了翻译。

你想访问碍尝础中国吗？

17AV网 ??? ?? My Access? 17AV网 ????? ?? ?????.

???